团队介绍

北京理工大学MEMS与智能微系统研究所（以下简称i2MEMS团队）的前身是北京理工大学信息与电子学院微电子所与微纳电子中心，并不断吸收新的科研力量，于2020年重新整合多方资源成立，经过两年多的建设，科研队伍不断壮大，已成长为一个多学科交叉融合、各方向优势互补的科研团队。i2MEMS团队隶属于北京市一级重点学科“电子科学与技术”下属的“MEMS与集成微系统”二级学科建设单位，致力于研究MEMS微纳传感器与执行器芯片设计与制造和微流控技术，培养MEMS与集成微系统方向的高级专业人才，推动集成电路及相关学科发展。团队现有教授（todo）名，博士研究生8名，硕士研究生13名。

谢会开

教授，博士，博士生/硕士生导师，北京理工大学重庆微电子中心主任、首席科学家，IEEE Fellow，SPIE Fellow，兼任IEEE Sensors Letters、Sensors & Actuators A等国际期刊副主编，同时担任IEEE Optical MEMS、IEEE Sensors、SPIE Photonics West、SPIE OTA等国际会议的共主席及程序/执行委员会委员。主要从事MEMS、三维集成、生物光子学、光学内窥显微成像等领域的研究，现发表科技论文300余篇，授权美国专利18 项，授权中国发明专利40余项。

逯遥

博士，博士生/硕士生导师，北京理工大学预聘副教授，特别研究员，曾任特文特大学博士后，主要研究方向为声学MEMS技术、声流控技术、声学压电谐振器、生物化学传感器、射频通讯等，现以第一作者或通讯作者身份发表1区文章7篇，并在IEEE SENSORS、Acoustofluidics等国际会议上发表文章并作口头报告。

王晓毅

博士，博士生/硕士生导师，北京理工大学预聘副教授，曾任香港科技大学PostDr Fellow，主要研究方向为微纳制造加工、 CMOS/MEMS 多传感器集成芯片研究、微纳惯性传感器、流速传感器、温湿度传感器、柔性传感器及其在机器人和精准理疗器械中的应用、微流控研究等，现发表文章38篇，其中以第一作者或通讯作者身份发表国际知名SCI期刊论文7篇，多次在IEEE MEMS Conference、IEEE Transducers Conference等国际MEMS顶会上发表文章并作口头报告，曾获2020年IEEE MEMS优秀学生论文奖，并兼任IEEE Sensors Journal、Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Sensors Conference 2021的审稿人。

孙搏谦

博士，硕士生导师，北京理工大学特别副研究员，曾任清华大学博士后，主要研究方向为高精度惯性传感器、微镜与探测器等，现发表论文5篇，包括并多次在IEEE Transaction on Industrial Electronics、IEEE MEMS、TRANSDUCERS & EUROSENSORS 等国际会议上发表文章并做口头报告。

科研筑梦

i2MEMS团队以“德以明理，学以精工”的北京理工大学校训为指引，秉持立德树人的根本任务，理论发展与实践应用并行，致力于研究MEMS微纳传感器与执行器芯片设计与制造和微流控技术，以光学MEMS、声学MEMS、谐振MEMS、CMOS-MEMS集成为特色，强调电学、光学、热学、声学、材料学与生物学等多学科融合，研制智能化、轻量化、微型化多功能集成声光电系统，并研发其在智能感知、智能制造、精准医疗、无人驾驶、智慧环保、灵巧机器人、遥感遥测等国家重大战略领域的应用，具有极高的核心竞争力与应用价值。

i2MEMS团队在北京理工大学中关村主校区拥有300平方米的十万级洁净实验室，目前由4个实验室构成：

1）MEMS实验室，涵盖光学、声学、惯性、RF、三维集成、CMOS-MEMS集成等方向；

2）纳米技术实验室，涵盖微纳加工、新型纳米结构、超材料、平面光学等方向；

3）集成光电微系统实验室，开发基于MEMS技术的光学模块及系统，包括3D感知、激光雷达、光谱测量及高光谱成像系统、全光通讯核心模块、无源遥测等方向；

4）生物微纳光子学实验室，开发多种活体实时无创光学显微成像技术，以实现无活检早期癌症筛查和实时精准手术导航。

实验室现有部分实验设备

i2MEMS团队主要研究成果

一种基于电热驱动的可连续控光的Microshutter

（a）电热式Microshutter的开态；（b）关态；（c）半开态；（d）多态混合；（e）可连续控光Mircoshutter的应用场景：智能窗户。

一种可调刚度的微米级超轻量自卷曲薄膜结构

（a）电热式bimorph概念图；（b）具有圆心角的电热式bimorph概念；（c）Bimorph圆心角和谐振频率关系；（d）刚度增强bimorph器件的SEM图；（e）器件形变与施加电压的关系。

人才培养

i2MEMS团队具有稳定健全的运行机制，形成一套科学完整的人才培养方案与团队合作模式。

科研工作方面，i2MEMS团队以周总结为记录，季度报告为节点，形成了一套闭环的科研工作记录体系。团队内部以项目组为单位每周召开组会，总结上周工作进展，探讨研究方案难点，分享科研真知灼见，不仅有效地提升了学生的讲演能力与答辩能力，同时也极大地充实了学生的科研眼界。在每个季度结束之时，每位同学会用英文撰写季度报告，总结本季度自己的科研经历，梳理接下来的工作安排，不仅给学生一个机会整理归档自己的科研进度，而且有利于整理学生自己的科研思路，也锻炼了学生的英文写作水平，大大地提高了学生英文论文撰写的能力。

思想引领方面，i2MEMS团队用教育辅导与物质激励并行的方式，引领学生养成积极向上、奋勇争先的时代精神。团队导师会与学生定期展开思想交流，及时知晓每位学生的思想动向，帮助学生解决思想上的困扰。同时i2MEMS团队设立了“月度之星”奖项，每个月月初由学生投票、导师评选的方式来选出上个月的“科研月度之星”与“实验室贡献月度之星”，并予以一定的物质奖励。通过这种奖励优秀的方法，不仅能够在物质上给学生最直接的奖励，而且在精神上也会形成榜样作用，引导学生自觉自省，督促自我在科研工作上的进度，并积极融入实验室大家庭中，成为实验室中不可或缺的一份子。

i2MEMS团队首届月度之星

学生自我成长方面，i2MEMS团队会定期组织学生参加相关学术培训与学术会议，提升学生的科研能力，扩展学生科研眼界。如2021年10月22~24日i2MEMS团队组织学生参加《第36期“见微知著”培训课程：微光学元件及应用》，由i2MEMS团队谢会开教授、无锡微奥科技有限公司副总经理王鹏博士等带来了MEMS微镜原理及应用的讲解，让学生们能够在短时间对微光学元件的原理、典型元件、制造方法及应用等不同方面有较深了解，从而帮助学生拓展思路，开阔视野。

谢会开教授在“见微知著”培训会上做演讲

得益于科学的育人理念和高效的培养模式，团队师生在科学研究包括学术论文、专利发明、学科竞赛、学术交流等方面有较好的表现及成果，团队所培养的学生在就业和升学方面都具备较强的竞争力。

团队建设

i2MEMS团队劳逸结合，重视体育锻炼，关心每一位学生的健康成长，引导学生德智体美劳全面发展。闲暇之余，i2MEMS团队导师与学生会共聚球场，挥洒汗水，强身健体，不仅增强了体魄，更是提高了团队凝聚力。团队也会定期组织丰富多彩的集体活动，如滑雪、登山等。这些活动丰富了学生的课余文化生活，增强了团队内部的交流，营造了健康向上的科研环境，使得团队保持着积极向上的朝气与活力。

团队师生在球场上挥洒汗水